Специалистам «Росэлектроники» удалось разработать инновационную технологию производства тонкоплёночных СВЧ-резонаторов, благодаря которой можно в несколько раз сократить вес и размеры устройств, в которых они используются.
Разработчиком технологии стал Омский НИИ приборостроения (ОНИИП). Метод позволяет производить СВЧ-резонаторы с брэгговским отражателем на основе плёнок оксида цинка и нитрида алюминия с добротностью 300–350 и 500–650 единиц, соответственно, в едином технологическом цикле на частоту 2–5 ГГц, а в перспективе до 20 ГГц.
Опытные экземпляры резонаторов, имеющие габариты 1,5х1,5х0,6 мм превосходят все известные на сегодняшний день российские и зарубежные аналоги.
Толчком для данного открытия стали исследования по определению влияния конструктивных и технологических решений на параметры тонкоплёночных СВЧ-резонаторов, используемых в устройствах частотной селекции и стабилизации частоты радиоэлектронной аппаратуры. Результатом работ стала инновационная технология напыления плёнок алюминия с малой шероховатостью поверхности.
Основным видом деятельности ОНИИП являются исследования в области радиосвязи, включающие в себя самый широкий спектр задач прикладного характера – от создания сложнейших автоматизированных комплексов, систем связи и управления, до разработки и изготовления радиоэлектронных компонентов и средств радиосвязи.
